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真空系统中需要注意的几种危险气体

责任编辑:品雅真空设备 发表时间:2020-07-27 浏览:11 次

在真空应用中,不少工业领域,如化工、电子半导体工业等,真空系统会抽除大量的有化学活性、腐蚀性、磨蚀性的气体。这些介质气体的存在会要求真空泵等设备在运行中有更高的可靠性。那这类危险气体典型的都有哪些带大家来认识下。

1、氧气(O2),易燃,促进爆炸。

2、氢气(H2),在空气、氧、氯等气体中易燃易爆。

3、氨气(NH3),无色有强烈的刺激气味,不易燃,有毒,可灼伤人体皮肤、眼睛、呼吸器官粘膜,吸入过多会引起肺肿胀以至死亡。

4、氯化铵(NH4Cl),易结块,水溶液呈弱酸性,加热时酸性增强,对黑色金属其它金属有腐蚀性,对铜腐蚀更大,同时还具有磨蚀性,可产生重粒子污染。

5、砷化氢(AsH3),无色剧毒可燃,半导体工业中广泛使用。

6、三氯化硼(BCl3),无色发烟有刺激性酸味,对人与环境有害,对真空泵以及油封泵的泵油具有腐蚀性。

7、三氟化硼(BF3),无色有毒腐蚀性气体,对真空泵及油封泵的泵油具有高腐蚀性。

8、四氯化碳(CCl4),也就是R14,不燃,有毒,可产生烃油聚合物,会对真空泵油产生污染。

9、四氟化碳(CF4),一种卤代烃,无色无味不燃,但在等离子环境中能形成HF。

10、氯气(Cl2),有毒并具有强烈的刺激味,能产生烃油聚合物,与氢混合可发生爆炸。

11、二氯甲硅烷(SiH2Cl2),无色、易燃和有毒,遇水能生成盐酸。

12、氯化氢(HCl),水溶液就是盐酸,无色有窒息性的气味,不易燃,具有腐蚀性。

13、氟化氢(HF),无色有刺激性气味,具有很强的腐蚀性。液态的HF是酸性非常强,可质子化硫酸与硝酸,极易挥发遇水激烈放热形成氢氟酸,操作时需特别注意。

14、二氧化氮(NO2),黄褐色液体或棕红色气体,具有强烈毒性,与水反应生成硝酸和一氧化氮。

15、氧化二氮(N2O),也就是俗称的“笑气”,无色有甜味气体,是一种氧化剂,可助燃。

16、磷化氢(PH3),无色、剧毒、易燃,微溶于水并呈弱碱性。

17、硅烷(SiH4),一种提供硅组分的气体源,易在空气中燃烧。

18、二氧化硅(SiO2),主要是有很强的磨蚀性。

19、四氮化硅(SiN4),可产生微粒污染。

20、四氯化硅(SiCl4),无色透明液体,纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色,有窒息性气味,在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢,在等离子体中可产生氯化物。

21、四氟化硅(SiF4),无色、有毒、有刺激性臭味的气体,在空气中可分解形成氧化硅。

22、三氯氟化甲烷(CCl3F),即R13,无色液体或气体,有醚味,对水体及大气产生破坏,可产生烃油聚合物。

这些气体或反应生成物,在真空系统中当达到一定浓度是都是危险的,因此在处理与抽除时都需要特别小心。

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